아티클스터디 - 반도체 기업의 품질 및 결과 개선을 위한 4단계 (12)

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반도체 기업의 품질 및 결과 개선을 위한 4단계 4 Steps for Semiconductor Manufacturers To Improve Quality and Ou

 

데이터를 쉽게 이용할 수 있는 방법

 

1) 측정 시스템 분석 사용으로 생산 변동 최소화

 

• Gage R&R 및 ANOVA를 활용하여 측정 시스템의 변동을 분석
• 반복성(repeatability)과 재현성(reproducibility)이 규격 공차 내에서 작아야 함
• Minitab의 측정 시스템 분석 모듈을 통해 실무자들이 쉽게 측정 시스템을 평가 가능

2) 통계적 공정 관리 활용으로 수율 개선 및 제조 공정의 낭비 방지

 

• 관리도(Control Chart)와 공정 능력 분석(Capability Analysis)을 활용하여 공정 및 장비 제어
• 웨이퍼 두께, 증착 속도, 엔드포인트(Etching 공정 종료 시점) 등 주요 특성을 모니터링하여 최적화
• 기존 SPC 사용 기업도 Minitab의 차세대 SPC 도구를 활용해 실시간 비용 절감 가능

3) 실험계획법 사용으로 제조 공정 개선

 

• 반도체 제조 공정이 복잡하여 엔지니어조차 최적의 장비 설정을 확신하기 어려움
• DOE를 활용하면 공정 변수 간 관계를 정밀하게 분석하고 최적의 공정 조건 도출 가능
• 신기술 도입으로 인한 예측 불가능한 문제도 DOE를 통해 해결 가능

4) Post-Silicon Validation에서 머신러닝 활용

• Post-Silicon Validation에서는 모든 작동 조건에서 기기의 동작을 세밀하게 분석해야 함
• 머신러닝을 활용하면 입력과 출력 간 숨겨진 관계 파악 및 성능 영향 요소 분석 가능
• Minitab의 예측 분석 모듈 및 상대변수 중요도 차트를 통해 주요 성과 요인 식별 가능